MEMS : contexte et applications - CultureSciences de l'Ingénieur

publié le 04 mar 2015 par Hélène HORSIN MOLINARO

Gradient de concentration dans un mélangeur

Masque utilisé dans un procédé de photolithographie

Schématisation de la production par photolithographie

Contenu principal

Description

MEMS : contexte et applications

Les MEMS, acronyme de Micro Electro Mechanical Systems, sont des dispositifs miniaturisés combinant plusieurs principes physiques. Ils intègrent généralement des éléments mécaniques couplés à de l’électronique et sont réalisés par des procédés de fabrication issus de la micro-électronique. Les MEMS exploitent, entre autres, des effets liés à l’électromagnétisme, la thermique et la fluidique. Ils sont dans notre quotidien, au cœur de la téléphonie, de l’automobile, du médical, des chaînes de production ou des manettes de consoles de jeux.

Cette ressource a pour objectifs de présenter les microsystèmes et leurs domaines d’applications, ainsi que les principes physiques associés à leur conception. La technique de la photolithographie, base de la production des MEMS est également présentée.

Le contexte : pourquoi la miniaturisation ?
Les différents secteurs des MEMS
Les principes physiques du microsystème
Production des MEMS

Fichiers et liens

MEMS : contexte et applications

Liens externes:

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