MEMS : contexte et applications

publié le 04 mar 2015 par Hélène HORSIN MOLINARO [1]

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Gradient de concentration dans un mélangeur

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Masque utilisé dans un procédé de photolithographie

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Schématisation de la production par photolithographie

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Contenu principal

Description

MEMS : contexte et applications

Les MEMS, acronyme de Micro Electro Mechanical Systems, sont des dispositifs miniaturisés combinant plusieurs principes physiques. Ils intègrent généralement des éléments mécaniques couplés à de l’électronique et sont réalisés par des procédés de fabrication issus de la micro-électronique. Les MEMS exploitent, entre autres, des effets liés à l’électromagnétisme, la thermique et la fluidique. Ils sont dans notre quotidien, au cœur de la téléphonie, de l’automobile, du médical, des chaînes de production ou des manettes de consoles de jeux.

Cette ressource a pour objectifs de présenter les microsystèmes et leurs domaines d’applications, ainsi que les principes physiques associés à leur conception. La technique de la photolithographie, base de la production des MEMS est également présentée.

Le contexte : pourquoi la miniaturisation ?
Les différents secteurs des MEMS
Les principes physiques du microsystème
Production des MEMS

Fichiers et liens

MEMS : contexte et applications [6]

Liens externes:

Revue TECHNOLOGIE N°212, mars-avril 2018 - sommaire [7]

Revue TECHNOLOGIE N°212, mars-avril 2018 [8]

Contenus associés :

Capteurs et chaîne d’acquisition [9]

Exemple de montage en pont de Wheatstone

[9]

Cette ressource a pour objectif de présenter les principes généraux des capteurs et de leurs chaînes d’acquisition

Ressource pédagogique

Cours / présentation [10]

Dossier Interdisciplinarité [14]

[14]

Ce dossier regroupe des ressources de Culture Sciences de l’Ingénieur pouvant être source de pistes pédagogiques et support pour des travaux interdisciplinaires

Ressource pédagogique

Cours / présentation [10]

Liens:
[1] https://eduscol.education.fr/sti/utilisateurs/helene-horsin-molinaro?node=5616
[2] https://eduscol.education.fr/sti/system/files/images/ressources/pedagogiques/5616/5616-visualisation-de-lechelle-dun-mems-the-auto-channel.jpg
[3] https://eduscol.education.fr/sti/system/files/images/ressources/pedagogiques/5616/5616-gradient-de-concentration-dans-un-melangeur.jpg
[4] https://eduscol.education.fr/sti/system/files/images/ressources/pedagogiques/5616/5616-masque-pour-photolithographie.jpg
[5] https://eduscol.education.fr/sti/system/files/images/ressources/pedagogiques/5616/5616-la-photolithographie-dans-la-production-des-mems.jpg
[6] https://eduscol.education.fr/sti/sites/eduscol.education.fr.sti/files/ressources/pedagogiques/5616/5616-mems-contexte-et-applications-ensps.pdf
[7] http://eduscol.education.fr/sti/ressources_techniques/revue-technologie-ndeg212-sommaire
[8] https://www.reseau-canope.fr/notice/technologie-n-212-mars-avril-2018.html
[9] https://eduscol.education.fr/sti/si-ens-cachan/ressources_pedagogiques/capteurs-et-chaine-dacquisition
[10] https://eduscol.education.fr/sti/lom-types-pedagogiques/cours-presentation
[11] https://eduscol.education.fr/sti/si-ens-paris-saclay/personne/barbot-jean-pierre
[12] https://eduscol.education.fr/sti/si-ens-paris-saclay/personne/horsin-molinaro-helene
[13] https://eduscol.education.fr/sti/si-ens-paris-saclay/personne/vourch-eric
[14] https://eduscol.education.fr/sti/si-ens-paris-saclay/ressources_pedagogiques/dossier-interdisciplinarite